1

  处理宽幅

100mm～600mm（可定制）

2

真空腔

  1200L（可定制）

3

电源系统

2KW～10KW等离子体发生源

4

控制系统

触摸屏+PLC自动控制

5

进气系统

标配2路工作气体，可扩展至5路工作气
                   体（Ar2、N2、H2、CF4、O2）

机型用途：用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备；

设备特点：主要用于处理100～600mm宽幅之材料，材料在真空室内部水平处理，上下料简单，可用于刻蚀工艺。真空室自动开关，一键式启停，操作简单方便。

 ※真空室内置张力控制系统，有效保护材料涨缩，使处理更加平稳；
※ 高性能等离子发生器，激发更为稳定之等离子体；
※ 特殊电极结构，更适合宽幅双面材料进行等离子体表面处理；
※ 采用中通水冷电极，真正实现过程温度控制，均衡均一；
※ 独特的卷曲设计，有效解决了卷式材料穿料问题，牵引材料更加便捷；
※ 具备上下料车，取代人工上下材料，上下卷更加方便；
※ 变频节能，通过真空制自动调节变频器频率，达到自动调节真空泵转速维持真空度；