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PCB用水平等离子处理机
PCB用水平等离子处理机PM13A
产品介绍

编号

项目

技术参数

1

机台整机规格

1900mm(W)×1300mm(D)×1900mmH

2

真空室规格

进口合金铝 1300(W)×1000(H)×1350(D)   mm

3

电极板规格

13层平板式电极板(870mm×610mm

4

控制系统

PC工控系统+PLC自动控制

5

真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计

6

气体计量系统

精确质量流量控制计 MFC

7

气体路数

2—5路工作气体可选:Ar2N2H2CF4O2

8

等离子发生器

10KW等离子体发生源(40KHz,可选13.56MHz

9

工作气体

2路工作气体可选:Ar2N2H2O2

特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。

用 途适用于印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。

1印制线路板行业:高频板表面活化,多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污,软板补强前活化。

 2、半导体IC领域:COBCOGCOFACF工艺,用于打线、焊接前的清洗

 3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化

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